연구

한림대 나노융합스쿨 정현석 석사과정생, 제71회 한국진공학회 ‘으뜸포스터발표상’ 수상

<사진: 정현석 석사과정생 수상 기념사진>

 한림대학교(총장 최양희) 나노융합스쿨 정현석 석사과정생이 8월 23일부터 27일까지 경주 화백컨벤션센터(HICO)에서 열린 제71회 한국진공학회 하계정기학술대회에서 ‘으뜸포스터발표상’을 수상했다.

 정현석 석사과정생은 나노소자연구실(Nano Device Research Laboratory, NDRL)에서 전자빔 리소그래피(Electron Beam Lithography, EBL)를 활용한 나노미터급 반도체 소자 제작과 플로팅게이트 기반 뉴로모픽 소자 연구를 수행하고 있다.

 이번 학술대회에서는 ‘Electrical Characteristics of Size-Specific Mesh-Type Nanodot Floating Gate Based Flash Transistors Manufactured by Electron Beam Lithography’를 주제로 연구 결과를 발표했다. 해당 연구에서는 전자빔 리소그래피를 활용해 나노미터 크기의 메쉬형 나노닷 플로팅게이트 구조를 제작하고, 플로팅게이트 크기에 따른 소자의 전기적 특성과 전하 저장 특성을 분석했다.

 특히 서로 다른 크기의 플로팅게이트 구조를 제작해 소자의 전기적 특성을 비교하고, 플로팅게이트 크기에 따른 문턱전압 변화와 프로그램·소거 특성을 확인했다. 또한 플로팅게이트에 저장되는 전하를 이용해 소자의 전기적 상태를 단계적으로 조절하고 신경망의 시냅스 가중치 변화를 모사하는 강화(potentiation)와 억제(depression) 동작을 구현함으로써 뉴로모픽 소자로의 적용 가능성을 제시했다.

 정현석 석사과정생은 “직접 제작하고 측정한 소자의 연구 결과가 좋은 평가로 이어져 뜻깊다”며 “이번 수상을 계기로 플로팅게이트 기반 뉴로모픽 소자 연구를 더욱 발전시키고, 의미 있는 연구 성과를 만들어갈 수 있도록 노력하겠다”고 말했다.

 장문규 지도교수는 “이번 수상은 정현석 학생이 소자 제작부터 전기적 특성 분석까지 연구 전 과정에 꾸준히 임해 온 결과”라며 “앞으로도 나노미터급 반도체 소자 제작 기술을 기반으로 차세대 뉴로모픽 소자 연구를 지속적으로 발전시켜 나가겠다”고 전했다.